重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設備比國外應用優勢強_珠海恒格微電子裝備有限公司 重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設備比國外應用優勢強_珠海恒格微電子裝備有限公司

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重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設備比國外應用優勢強

2020-08-11 master 5366

相對于中國在等離子蝕刻機上,珠海恒格電子科技有限公司的等離子蝕刻清洗設備,不僅可以滿足中國企業的需求,還能夠進入國際市場上與應用材料等國際巨頭一爭長短.而這背后,是一群科技人才耗費十多年時間持之以恒的付出和努力換來的成績。


十年磨一劍技術應用比國外優勢


腔體采用航空鋁合金,無縫焊接,真空泄漏率小于20mt/min,可以更好保證均勻性。

電極采用一體成形工藝(無縫焊接),電極升溫效率高20%,咬蝕均勻。


真空泵組全方位多重保護系統(過流,過載,超溫保護)。

電極和RF電源/真空泵組采用獨立冷卻系統,確保設備穩定性和延長設備使用壽命。

標配四路、最多五路氣體配置。

氦氣氧氣軟件防保設備,氣體流量&壓力報警裝置系統。


德國工業電路安裝設計標準

冷卻水和氣體流量實時監控系統(HENGER專利)

PLC-人機操作軟件,簡單使用,數據動作實時記錄,永久存儲,分級用戶權限管理。

Barcode掃描系統(選配功能)

恒格等離子VS國外品牌等離子


恒格等離子其它優勢

腔體內可拆卸面板:保護腔體,便于清洗,提高效率,提高咬蝕均勻性。



我們的愿景

做中國最好的“等離子體工業應用”民族品牌

立足中國   面向世界。





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